產(chǎn)品名稱：磁控濺射脈沖電源

產(chǎn)品型號(hào)：BIPS-50001.2E

 

      隨著科學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，磁控濺射技術(shù)也得到了快速的發(fā)展，但在磁控濺射過(guò)程中，關(guān)鍵部分是脈沖磁控濺射電源，目前，脈沖磁控濺射電源

向大功率、高頻化方向發(fā)展，由于開(kāi)關(guān)電源的高頻化使得開(kāi)關(guān)電源的損耗增加，因此，我公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開(kāi)

關(guān)技術(shù)，大大降低了電源的開(kāi)關(guān)損耗，提高了電源的效率，利用輸出電流保護(hù)點(diǎn)設(shè)置的方法，是輸出電流任意調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)了快速反應(yīng)的過(guò)流保護(hù)。高

效和完善的保護(hù)措施是電源能長(zhǎng)期可靠的運(yùn)行保證，電源控制采用數(shù)字化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)電源的本地控制和上位機(jī)智能化控制的目的。

      電源采用脈沖單元疊加技術(shù),將5組相互獨(dú)立的單元模塊串聯(lián)起來(lái),采用同步驅(qū)動(dòng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)了5kV 的高壓脈沖輸出?？赏ㄟ^(guò)增減脈沖單元的數(shù)量,滿足

不同輸出電壓的需要,實(shí)現(xiàn)了模塊化設(shè)計(jì)。

      該系列電源的指標(biāo)為:
      脈沖電壓幅值500V～5kV ,脈沖頻率500Hz～50kHz ,脈沖占空比5%～90% ,脈沖電流幅值10～200A ,脈沖功率5～50kW。

1、單極性脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎(chǔ)上增加單極性正脈斬波電路組合而成，消除了由于直流反應(yīng)濺射出現(xiàn)的靶的污染、陽(yáng)極

     消失、極間打火等問(wèn)題。

2、該電源除具有直流磁控濺射電源的優(yōu)點(diǎn)外，能明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象，減少濺射靶表面的打火次數(shù)，提高膜層質(zhì)量，適用于金屬、合金

     及石墨等靶材鍍制純金屬膜，碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明顯性改善靶面電荷積累現(xiàn)象，減少濺射靶表面的打火次數(shù)，提高

     膜層質(zhì)量。

3、輸出電壓為單極性脈沖，具有平均電流穩(wěn)流功能。

4、該電源由多個(gè)相對(duì)獨(dú)立的單元疊加而成,具有可靠性高、擴(kuò)展性好等特點(diǎn)。

1、 型號(hào)：BIPS-50001.2E；

2、 額定功率：6kW；

3、 額定輸入電壓：3 AC380V±10%, 50Hz ；

4、 輸出方式：脈沖；

5、 輸出頻率：5～20kHz ；

6、 脈沖電壓幅值：1000～5000V（峰值）；

7、 平均電流：0～1.2A；

8、 輸出脈沖周期：50～200uS；

9、 脈沖占空比：10～50% ；

10、冷卻方式：風(fēng)冷；

11、外形尺寸：435mm×264mm×554mm（寬×高×深）；

12、保護(hù)功能：具有過(guò)流、過(guò)壓、過(guò)熱等保護(hù)措施；

13、液晶屏的智能控制系統(tǒng)，任意設(shè)定輸出脈沖電壓幅值、脈沖周期時(shí)間及脈沖頻率，以及各種工藝參數(shù)，具有在線可編程功能。