聯(lián)系人：賈軍
郵箱：source@sinokiln.com
電話：029-33579267
地址：陜西省咸陽市秦都區(qū)玉泉西路210號
時間：2025/10/11 17:35:00 來源：http://www.antcolor.com/news1079815.html
氣相沉積爐的核心部件包括：
沉積爐主體：包含加熱室、水冷電極、測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。
混氣罐：由電動蝶閥、浮子流量計和不銹鋼手動截止閥組成，負責氣體的混氣配比和向沉積爐內(nèi)定量輸送工作氣體。
滑閥泵：負責爐內(nèi)空氣及工作廢氣的排除，使爐子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)。
真空電動蝶閥：在滑閥泵工作過程中，通過調(diào)節(jié)閥的開度，從而可以調(diào)節(jié)泵的抽速，使爐子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)。
加熱磁性調(diào)壓器：完成爐溫的控制。
真空反應(yīng)室：氣相沉積爐屬于真空設(shè)備，需要在一定真空環(huán)境下進行工作。
抽氣組件：用于維持爐內(nèi)的真空環(huán)境。
控制面板：用于監(jiān)控和控制系統(tǒng)的工作參數(shù)。
微信掃一掃
Copyright©www.antcolor.com ( 點擊復(fù)制 )咸陽科源新材裝備有限公司
電話： 13992091608 聯(lián)系人：賈軍
郵箱：source@sinokiln.com 地址：陜西省咸陽市秦都區(qū)玉泉西路210號
磷酸鐵鋰煅燒爐怎么樣？硅碳負極包覆設(shè)備哪家便宜？回轉(zhuǎn)爐哪家好？咸陽科源新材裝備有限公司主要提供磷酸鐵鋰煅燒爐,硅碳負極包覆設(shè)備,回轉(zhuǎn)爐,氣相沉積爐
Powered by 
技術(shù)支持：鑫承信息
